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　　叁轮车检测线二维工作台是扫描干涉场曝光系统中的机械分度与扫描运动工作台。扫描工作台此工作台的正交性对扫描光栅的刻线均匀性、刻线间的平行等指标是很重要的。现世界对于检测正交性的方法有很多,主要分为光学检测和机械检测。

　　叁轮车检测线光学检测中的主要器件为五棱镜、自准直仪和反射镜;机械检测主要器件为多齿分度盘、平晶和微位移检测设备(如电容测微仪、电感仪等)。文中介绍机械检测工作台正交性的方法。

　　而微位移检测设备选用非接触式电容测微仪。由于它具有精度和分辨率高、对环境要求低、稳定性好、适用材质和对基准平晶有保护作用等多种优点摆7-8闭,所以选择在此次检测中应用。

　　1.升降机构;2.刻度盘;3.上齿盘;4.工作台面;5.固定指标线;6.下齿盘多齿分度盘1检测方法已知齿,驰两向导轨直线度已经达到要求的条件下,将电容测微仪固定在工作台表面上,在工作台外侧将基准平晶放置并固定在多齿分度盘工作台面上。